场发射扫描电镜

品牌：ZEISS   型号：SIGMA 360

1.仪器用途

扫描电子显微镜通过聚焦电子束在样品表面扫描，探测二次电子、背散射电子等信号，以高分辨率呈现样品表面与近表面的三维形貌及成分衬度。Sigma 360采用热场发射电子枪和无漏磁物镜设计，样品适用性广泛，低电压成像性能卓越。仪器电子枪束流稳定性达到行业最高水平，适合高精度定量分析，集成EDS、EBSD等探测器，使其成为强大的微区综合分析平台。该仪器代表了综合性微区分析的先进水平，广泛应用于金属材料、陶瓷、高分子及芯片等微观组织观察、断口分析、晶体取向测绘等研究。

2.技术参数

（1）加速电压：20 V–30 kV

（2）二次电子分辨率：0.9 nm @15 kV，1.3 nm @1 kV

（3）最大放大倍数：1 Mx

（4）最大电子束流：20 nA

（5）配备EDS、EBSD等综合探测器

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王可  15200817516