中、长波红外探测器制备产线

品牌：威格科技   型号：FG4500/750TS-F

1.仪器用途

用于惰性气氛下的材料制备和器件加工；

2.主要技术指标

（1）泄露率：泄露率＜0.001vol%/h；

（2）循环风机：数量3套；循环风机功率＜80m³/h；

（3）水氧指标：可得气体纯度H₂O＜1ppm，O₂＜1ppm；

（4）带除尘系统。

负责团队：光电感测与智能成像团队

联系人：胡慧成  15695280721