晶圆研磨机

品牌：方达研磨   型号：FD-4602XQJ

1.仪器用途

用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面，用于材料的单面研磨、抛光；

2.主要技术指标

（1）抛光盘转速：0-96rpm；

（2）抛光头转速：0-95rpm；

（3）研磨尺寸：适配至8寸；

（4）抛光盘尺寸：500mm。

负责团队：先进材料与智能装备团队

联系人：汪祖安  13297945053