手套箱联用电子束热蒸发镀膜机

品牌：普迪真空   型号：PD-500CS

1.仪器用途

用于电子束和热蒸发的方式制备金属或者半导体薄膜；

2.主要技术指标

（1）反应腔体从大气抽到5E-4Pa时间＜30分钟；

（2）蒸距可调（可调范围350mm~450mm）；

（3）可以自动镀膜；

（4）6坩埚，功率10KW；

（5）2组；带有自动档板；

（6）配备样品反应充气功能，高精度导气离化。

负责团队：光电感测与智能成像团队

联系人：胡慧成  15695280721