表面平整度测量仪

品牌：中图仪器  型号：W1

1.仪器用途

通过非接触测量，对物体表面进行三维形貌的纳米级精度测量和量化分析，如表面粗糙度分析、台阶高度测量、表面形貌特征分析，表面形貌动态变化分析等。

2.主要技术指标

（1）光源：白光LED；

（2）影像系统：1024*1024；

（3）干涉物镜：10x；

（4）光学ZOOM：0.5x；

（5）标准视场：1.1*1.1mm（10x）；

（6）物镜搭台：3孔手动；

（7）XY位移平台尺寸：320*200mm；

（8）移动范围：140*100mm；

（9）负载：10kg；

（10）控制方式：手动和电动兼容；

（11）水平调整：±5°，手动；

（12）Z轴聚焦：行程：100mm、控制方式：电动，Z向扫描范围：10mm；

（13）0.1nm分辨率时扫描速度：8μm/s；

（14）形貌重复性STR：0.1nm；

（15）粗糙度RMS重复性：0.005nm；

（16）台阶测量准确度：0.3%、重复性：0.08%，1σ；

（17）仪器主机重量：140kg；

（18）主机尺寸：700*600*900mm；

（19）环境条件：0~30℃，温度梯度＜2℃/60min。

负责团队：先进材料与智能装备团队

联系人：汪祖安  13297945053