三维共聚焦白光干涉轮廓仪

品牌：Sensofar   型号：Sneox 090

1.仪器用途

三维形貌非接触式测量；

2.主要技术指标

（1）纵向分辨率：≤0.1nm；

（2）显示分辨率：≤0.001nm；

（3）横向分辨率：≤0.16nm；

（4）主机Z轴行程：电动行程不低于40mm。

负责团队：复杂网络协同探测与控制团队

联系人：唐颖奇  18810775352