多功能镀膜机

品牌：北宇真空  型号：NMT-700

1.仪器用途

多功能镀膜系统：集成了气体离子辅助沉积系统、阴极电弧系统与磁控溅射系统，能够在基材上镀覆多种薄膜（金属及其氮化物、氧化物薄膜，DLC薄膜）。

2.主要技术指标

（1）真空腔室尺寸：⌀760*H700mm；

（2）有效镀膜空间： ⌀500*H300mm；

（3）极限真空度：2x10^-4Pa (室温空真空室条件下)；

（4）升压率：≤0.2Pa/h (室温空真空室条件下)；

（5）抽气时间：室温空真空室条件下从大气条件抽到5.0x10-3Pa＜30min。

负责团队：先进材料与智能装备团队

联系人：汪祖安  13297945053