真空镀膜工艺联用手套箱

品牌：威格科技   型号：FG4200/750TS

1.仪器用途

与镀膜机集成，用于惰性气氛下的材料制备和器件加工；

2.主要技术指标

（1）泄露率：泄露率＜0.001vol%/h；

（2）循环风机：循环风机功率＜80m3/h；

（3）水氧指标：可得气体纯度：H2O＜1ppm，O2＜1ppm；

（4）带等离子处理机。

负责团队：光电感测与智能成像团队

联系人：胡慧成  15695280721