低温真空探针台

品牌：Semishare   型号：SCG-C-2

1.仪器用途

可提供在超高真空与高低温转换的环境下，实现对器件及材料表征的IV/CV特性测试、射频测试、电磁输运特性及霍尔效应等测试。通过设置真空腔、防辐射屏等结构，能够有效的营造一个集成高温、低温、真空等测试环境，能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。

2.主要技术指标

（1）温控范围：10K-450K；

（2）PID温度控制器分辨率: 0.001℃；

（3）传感器温度误差: 任何一区段0.5%；

（4）漏率优于: 1.3*10^-10 Pa.M3/s；

（5）双腔室设计具备良好的屏蔽效果；

（6）常温降温至10K（系统冷却）的时间优于：180mins，温度稳定性优于：+/-100mK；

（7）至少包含4个位置的温度传感器输入：chuck，辐射屏，探针臂，冷头。

负责团队：复杂网络协同探测与控制团队

联系人：朱增泰    18719820201